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          在真空腔體制作過程中,采用哪些表面處理方式?

                 真空腔體是一種保持內部為真空狀態的容器,主要應用于半導體制造中。反應釜的制作需要考慮到容積、材質和形狀。不銹鋼是高真空系統的主要結構材料,具有優良的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好、導電率和導熱率低等優點,在反應釜的制作中應用廣泛。近年來,鑄造鋁合金也逐漸被用于制作。另外,鈦合金也被用于制作特殊用途的真空反應釜。
                 在真空腔體的制作過程中,表面處理方式包括噴丸、噴砂和機械拋光。
                 噴丸是一種采用高速沖擊將工件表面植入殘余壓應力的冷加工工藝,可提升工件的強度。
                 噴砂是利用壓縮空氣將高速噴射束將噴料高速噴射到工件表面,清理和粗化基體表面的過程,使工件表面的外表面的外表或形狀發生變化。
                 真空腔體的機械拋光是靠切削、材料表面塑性變形去掉被拋光后的凸部而得到平滑面的拋光方法,一般使用油石條、羊毛輪、砂紙等,以手工操作為主,特殊零件如回轉體表面,可使用轉臺等輔助工具。
          2023/10/19 08:51:19 981 次

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