介紹一下真空腔體的運行參數

2023/10/19

真空腔體在半導體制造中有著重要的作用，其運行參數也是評價其性能的重要標準。以下是一些常見的運行參數：1、真空度：反應釜重要的運行參數之一，它直接決定了半導體制造過程中的環境狀況。高...+ More

在真空腔體制作過程中，采用哪些表面處理方式？

2023/10/19

真空腔體是一種保持內部為真空狀態的容器，主要應用于半導體制造中。反應釜的制作需要考慮到容積、材質和形狀。不銹鋼是高真空系統的主要結構材料，具有優良的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接...+ More

提高真空腔體工作效率的措施有哪些？

2023/09/14

提高真空腔體工作效率的措施包括以下幾個方面：1、優化真空系統設計：設計一個合理的真空系統，包括真空腔體、泵和配管系統。確保各個組件之間的匹配性，以提高整體效率。2、選擇適當的真空泵...+ More

介紹對鎳基腔體進行調試的目的

2023/09/14

對鎳基腔體進行調試的目的是確保它在運行時能夠正常、效率地工作，達到預期的性能和穩定性。這些調試過程旨在識別和解決潛在的問題，確保腔體符合設計規范，并滿足所需的生產要求。以下是進行調...+ More

談談真空腔體的表面處理方式

2023/08/14

真空腔體的表面處理方式主要是為了提高其表面的光潔度、耐腐蝕性和性能穩定性。以下是一些常見的設備表面處理方式：1、拋光：拋光是一種常見的表面處理方式，可以通過機械磨削、打磨和拋光等步...+ More